Reisreeks
20 mm
Resolusie
0,125 μm
Herhaalbaarheid
＜1 μm
Reguitheid
＜2 μm
Parallelisme
＜5 μm
Pitching
10 duim(50 μrad）
Gaap
Maksimum spoed
5 mm/sek
Laai kapasiteit
10 kg
Gewig
1,5 kg
